太和气体技术人员正在通过系统监测厂区内电子特气生产。

文/图 湖北日报全媒记者 孟静 通讯员 周栎 彭丹

5月25日，位于荆州经开区的太和气体有限公司，各条电子特气生产线开足马力。

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“公司销售人员就两个，订单多是自己找上门，现在已经排到明年。”乙硼烷生产车间，正在巡查生产安全的公司副总经理曾令侠说。

电子特气是电子工业的关键原料，被称为电子工业的“血液”，是生产半导体芯片、平板显示器、光纤及太阳能光伏等高科技产品不可或缺的关键材料，应用于光刻、刻蚀、沉积、掺杂等核心工艺环节。

随着国内半导体、面板、光伏等投资和国产化加速，市场对电子特气产品的需求也越来越大。曾令侠介绍，电子气体的纯度和洁净度直接影响到半导体器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率。在半导体生产环节中，使用的电子气体有100多种，核心工段常用的气体约有50种。

2010年，太和气体（荆州）有限公司成立，专注于高纯半导体特气的研发、生产和销售，迅速成长为行业“领头羊”。

“过去，我国电子特气严重依赖进口，国产化率低。”曾令侠说，关键战略材料供应链必须自主可控。在国家鼓励和市场需求的双重推动下，公司抢抓机遇，在国内率先自主研发生产高纯氯、氯化氢等气体。

2015年，太和气体年产1000吨高纯电子级氯气产品生产线获得工信部强基工程支持。在和高校联合攻关下，高纯氯产品由依赖进口到自主生产，每公斤成本从300元下降到120元。2018年高纯氯气强基项目验收后，产品在国内市场份额迅速超过65%，产能及市场占有率全球领先。2019年12月，工信部将用于新型显示的特种气体——高纯氯气、三氯氢硅、氯化氢、四氯化硅等列为重点新材料。

太和气体在发展快车道上“一路狂奔”：2018年产值1500万元，2019年2500万元，2021年4500万元，2022年2亿元……

近两年，太和气体克服乙硼烷合成工艺技术、纯化技术、分析检测技术及储运技术等难题，对乙硼烷生产集成关键技术进行攻关，研发生产的乙硼烷成为热门单品，广泛应用于国内5G和存储芯片制造，打破国内乙硼烷几乎全部依赖从欧美进口局面。太和气体成为国内乙硼烷最大供应企业，还占据20%国际市场份额。

随着国内外存储芯片市场需求大幅增长及工艺技术快速迭代更新，太和气体抓住时机，去年初投资2亿元新建年产33吨半导体特种气体项目，包括3吨乙硼烷生产线。

通过与清华大学、武汉工程大学等高校多年合作，目前公司已拥有高纯氯、高纯氯化氢、乙硼烷、溴化氢等21个电子特气产品的完全自主知识产权核心生产工艺技术、29项专利技术，牵头和参与制定多项电子特气产品的国家及行业技术标准，多个产品填补国内空白。

去年，太和气体入选国家级专精特新“小巨人”，现已成为国内高纯氯、氯化氢和乙硼烷电子特气最大制造商，产品进入台积电、三星电子、京东方、中芯国际等国际知名半导体供应链。

眼下，该公司新上5亿元新厂区项目，新增电子特气产品品种大部分将为国内首次生产。项目全部建成达产后，预计年新增销售收入8亿元。